离子溅射仪的保养方法是怎样的？一文带你全学会

　　离子溅射仪是一种紧凑的台式涂层系统，特别适用于扫描电子显微镜成像中非导电样品的高质量涂层。样品的干燥和清洁是离子溅射涂层的基本要求。如有必要，应在交换样品和阴极的位置用火花放电清洁样品表面，然后在溅射涂层前恢复样品。铁、镍、铜和铅通常用作离子溅射仪器的阴极材料。有时电硬金、铂、钯、铟和其他金属也可用作阴极材料。氧通常用作离子溅射仪器的反应气体。
 



 

　　离子溅射仪的维护与保养方法：
 
　　在扫描电子显微镜的样品预处理中，在样品表面镀金和提高样品的导电性是离子溅射仪的主要用途。多年来，经常出现无法正常镀金的错误报告，需要进行维护。
 
　　1、调整真空度
 
　　如果样本仓内壁清洁后仍报告错误，请注意仪器的真空度。通常，镀金过程中腔室中的压力为7Pa。当压力保持在6Pa或更低时，很容易报告错误。将样品放置到位，盖上样品箱，启动镀金程序，观察仪表板上的压力变化。
 
　　当仪器前面的第二个指示灯(调整真空度)闪烁时，调整下面的旋钮。当它顺时针旋转时，压力会增加，当它逆时针旋转时压力会降低。根据需要小心地将其调节至约7Pa，以便仪器能够正常电镀。
 
　　2、清洁样本箱
 
　　仪器使用过程中，样品仓内壁会有污染物沉积。通常使用前会用干净的布或纸擦拭，然后用耳球吹。当仪器长时间使用时，会有许多金颗粒附着在内壁的下边缘，这很难擦除。可以在样品仓中涂上金属抛光膏，然后用纸反复擦拭，这样更容易清洁，然后用酒精清洗。