离子溅射仪的原理是什么？它的特点有哪些？

　　离子溅射仪的工作原理：
 
　　直流冷阴极二极管型，靶材为常温，负高压1-3kv，阳极接地。当高压打开时，阴极发射电子，电子能量增加到1-3kev，轰击低真空(3-10pA)中的气体使其电离。激发的电子在电场中加速，并继续轰击气体以产生级联电离，形成等离子体。离子以1-3kev的能量轰击阴极靶。
 



 

　　当它们的能量高于目标原子的结合能时，目标原子或原子簇脱离目标并与等离子体中的残余气体碰撞。因此，它们有不同的方向。当它们落在样品表面上时，它们可以在粗糙的样品表面上形成厚度均匀的金属膜，并且与样品具有高的结合强度。如果腔室中的气体继续流动并且压力保持恒定，则此时的离子电流保持恒定。高压的功率决定了最大离子电流，其通常被限制以保护高压电源。
 
　　离子溅射仪的系统特点：
 
　　1、内置过电流和真空保护，当溅射电流过高或真空度差时自动中断，非常可靠和安全。
 
　　2、微调阀的灵敏度相当高，可以精确控制气体流量。
 
　　3、目标组件采用翻盖式设计，操作简单方便。
 
　　4、内置用户指南和手册，用户操作非常方便。
 
　　5、离子溅射仪采用微处理器控制。它具有非常高的自动化程度，可以精确控制，并且易于操作。
 
　　6、5英寸彩色触摸屏可实时显示真空度、溅射电流、设定溅射时间、剩余溅射时间、膜厚估算等。
 
　　7、可溅射金、银、铜、铂等常见靶材。
 
　　8、可以实时显示设备的运行时间和目标的使用时间，使设备更容易理解。