操作离子溅射仪时需要注意哪些问题？

　　离子溅射仪在样品制备过程中为SEM用户提供了更广泛的选择，以满足支撑扫描电子显微镜所需的涂层要求。在结构设计和人机界面方面，更加注重人性、简洁和智能。同时，通过智能人机界面，控制仪器简单方便。同时，它可以实时估计涂层厚度，显示真空度和溅射电流。





 

　　离子溅射仪的操作注意事项：
 
　　1、一般来说，操作距离可以调整。距离越近，溅射速度越快，但热损伤越大。
 
　　2、在真空压力下，离子流速越大，溅射速度越快，电子轰击样品产生的热量越大，产生的热量就越大，所产生的热量也越大，真空度越低，I越小，溅射速度就越慢，原子晶粒越细，电子轰击试样产生的热量就会越小。
 
　　3、加速电压固定且可调。加速电压越高，样品的热损失越大。通常使用金属靶的比例范围。
 
　　4、一些热敏样品需要冷却、水冷或珀尔帖冷却，或者可以使用磁控制设备像电磁透镜一样从样品中分离电子。当然，经过这种改造后，将增加非常高的成本，但可以溅到蜡表面上的金属层不会造成任何损坏！相比之下，高成本可以带来很多好处。
 
　　5、真空中杂质越多，涂层质量越差。一般来说，金是相对稳定的，可以使用空气作为等离子气源，而许多其他靶需要惰性气体。
 
　　6、随着气体原子序数的增加，动量增加，溅射速度增加，但晶粒会变厚，连续膜会变厚。
 
　　7、真空室的清洁对高质量涂层非常有利。
 
　　8、机械真空泵不允许长时间保持真空极限，否则容易倒油。
 
　　9、使用离子溅射仪器时，应特别注意以上8点，保护仪器并尽可能延长其使用寿命。