全自动离子溅射仪的常见故障及其解决方法

　　全自动离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
 



 

　　全自动离子溅射仪的常见故障及其解决方法：
 
　　1、当出现检测器失效时如何解决
 
　　检测器失效时的原因有4种：
 
　　①检测器的插头与主机板座松了；
 
　　②检测器本身坏了；
 
　　③阀芯上的固定螺钉与电机转动轴未紧固到位；
 
　　④阀芯本身太紧不能转动。检查的顺序依次为③-①-④-②。
 
　　2、吸样不畅的原因及处理方法：
 
　　吸样不畅的原因主要有以下4种，沿着"由简单到复杂"的思路来检查；
 
　　①检查管路各个接口(包括电之间的连管、电与阀之间、电与泵管之间)的连管有无漏气，此种现象表现为不吸样；
 
　　②检查泵管是否粘连或过于疲劳，此时应更换新泵管。现象表现为泵管发出异常声音；
 
　　③各管道内尤其是各接头处有蛋白沉淀，此种现象表现为液速度过程定位不稳，即使换了新泵管也是样，解决办法为取下各接头用水清洗干净；
 
　　④阀本身有问题，要仔细地检查。