小型真空等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。
小型真空等离子清洗机产品参数
1、腔体材质：不锈钢
2、供电电源：AC220V
3、射频电源功率：0-500W 可调
4、射频频率：25KHz
5、真空度：≤100Pa
6、气体路数：单路
7、气体流量：0.1-1l/min(可调)
8、清洗时间：0—999秒连续可调
9、内腔尺寸：147mm*145mm
10、外形尺寸：452mm*340mm*225mm
11、重量：≈18KG
小型真空等离子清洗机是一种高科技的表面清洗设备，主要用于清洗微小、复杂、高精度、高要求的零部件及器件表面。它采用等离子体原理，将含有污染物、氧化物等杂质的表面暴露在高能离子束下，使这些有害物质与基材分子进行化学反应，最终形成挥发性物质被清除。
小型真空等离子清洗机的主要优势包括：
1.清洗效果好：可以有效清除复杂零件表面的有害杂质。
2.清洗速度快：操作简便快捷，不需要任何化学试剂，清洗时间一般在几分钟之内就可以完成。
3.清洗精度高：能够清洗出微小尺寸的污染物，避免表面再次受到污染。
4.操作环境友好：清洗完毕后不会留下废料，同时清洗过程中不会产生有害物质。
小型真空等离子清洗机广泛应用于微电子、半导体、光电、航空航天等行业的制造、实验研究等领域，是目前表面处理工艺的重要设备之一。
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