小型真空镀膜机是我公司专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统，机架电控一体化设计，整体布局紧凑合理，充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的玻璃真空室结构相得益彰。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所教学、制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。
小型真空镀膜机主要特点/优势：
★ 玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★ 复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S)；
★ 两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★ 专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★ 可镀110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
★ 衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
★ 良好的薄膜均匀性和重复性，可在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★ 设备集成度高，结构紧凑，占地面积小(0.92平米)；设备配脚轮，方便移动和定位。
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